南宫NG28

Universal-300 T 是在南宫NG28先进CMP装备基础上，，，，，凭证行业前沿手艺需求开发的领先型12英寸CMP装备。。
。该装备基于南宫NG28自主知识产权的立异手艺，，，，，配备性能优越的抛光单位，，，，，集成多种终点检测手艺，，，，，并搭载更先进的组合洗濯手艺，，，，，展现出更卓越的清洁效果。。
。该装备可实现晶圆纳米级全局平展化，，，，，知足先进制程手艺需求，，，，，已在集成电路、先进封装、大硅片等制造工艺中批量应用。。
。